真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器_半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風(fēng)，適合短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流的場(chǎng)合，

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產(chǎn)品詳情

KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。

在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風(fēng)，適合短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流的場(chǎng)合。

產(chǎn)品特點(diǎn)

減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

100% 完整性測(cè)試通過(guò)

技術(shù)參數(shù)

濾芯材質(zhì)	16L不銹鋼粉末燒結(jié)	殼體材質(zhì)	316L不銹鋼
最大進(jìn)氣壓力	6.89bar	0-ring	氟橡膠(可選)
最大工作壓差	3bar	工作壽命	≥100,000cycles
最高操作溫度	100°C with 0-ring 400'C with no 0-ring	下游潔凈度	≥0.03particles/liter @>0.01um rate flow