恒歌科技

      掃微信-恒歌科技

      24h咨詢熱線:

      13544009780
      半導(dǎo)體氣體過濾器
      您的位置: 主頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體氣體過濾器

      高壓氣體專用過濾器_半導(dǎo)體精密過濾器_壓縮空氣氨氣過濾器

      • HF系列高壓氣體專用過濾器,用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合,兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命,能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铮Wo(hù)系統(tǒng)免受污染,從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換,維護(hù)簡便。
      • 產(chǎn)品詳情

      HF系列高壓氣體專用過濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铩⒈Wo(hù)系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換、維護(hù)簡便。

      產(chǎn)品特點(diǎn)

      1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

      2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格

      3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

      4、過濾效率高、不易堵寒

      5、安裝與檢修便捷高效

      6、100%完整性測試通過

      7、100%氨氣泄露檢測通過

      技術(shù)參數(shù)

      濾芯材質(zhì)    316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
      表面處理   內(nèi)表面   Ra < 1.6μm過濾精度μm≥10~0.003 
      外表面   電解Ras0.13μm 
      最大工作壓差500bar最大工作壓差5bar
      最高使用溫度600°C下游潔凈度≥0.03particles/liter
      @>0.01um rated flow
      氦氣驗證泄漏率1x10-1'cc/min氦氣測試泄漏率1x10-9cc/min


      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_03.jpg

      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_04.jpg

      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_05.jpg

      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_06.jpg

      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_07.jpg

      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_12.jpg

      半導(dǎo)體-高壓氣體專用過濾器_13.jpg

      半導(dǎo)體-真空系統(tǒng)氣體過濾器_15.jpg


      在線咨詢
      服務(wù)熱線

      服務(wù)熱線

      13544009780

      微信咨詢
      返回頂部